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石英管洗浄装置

洗浄対象物：
①　石英炉芯管　φ１３０～φ３００～φ４５０
②　その他石英部材（フォーク、ポート）等
使用液：　フッ酸、硝酸、過水等の溶液
その他：　縦型洗浄装置も製作可能（ペルジャー等）

　マスク洗浄装置

各種マスクを自動搬送システムにて洗浄
基盤１枚からカセット単位で手動・自動処理可能

①　熱流酸槽：　　　８０℃で温度調節された処理槽にてDIP処理
②　DIP水洗槽１：　オーバーフロー方式による水洗槽で1次洗浄
③　DIP水洗槽２：　オーバーフロー方式による水洗槽で最終洗浄
④　スピン乾燥：　　処理を終えたホルダー、又はカセットごとにスピン乾燥

（手動・自動にて乾燥処理可能）

半導体・ハードディスク製造装置

附帯設備　　　　　実験設備