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薬液供給システム

洗浄に必要な処理液を別体ユニットで制御し、最適な処理環境を提供
材質：　SUS、PVC、PPにて製作可能
使用液：　酸、アルカリ液他
その他：　自動、手動制御、多段ろ過機器組み込み液循環　
温度制御、自動薬液調整、ｐH調整機能、本体からユニット間インターフェース制御

ガススクラバー

各種設備装置から有機・酸排気をシャワー置換し、クリーンな排気を工場排気に送る
PVC及びPP製　排気能力：　２０m³/min
水漏れに対するフェールセーフ・インターロック付
外部寸法：　W１９９５　X　D１０２０　X　H６００　（ｍｍ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　

クリーン保管庫

マスク、ウエハの保管に各サイズにて製作可能
クリーンユニット、クリーン保管庫各寸法はお客様のご希望によって製作可能

クリーンユニット

多様なニーズに対応するため、各種製作可能
アルミ製薄型クリーンユニット、フィルター：　Hepa、Urpa、耐久フッ酸、ボロンフリー他

クリーンブース

簡易小型ブースから大型まで各種寸法はお客様のご希望によって製作可能

半導体・ハードディスク製造装置

洗浄設備　　　実験設備