めっき実験装置

卓上型のめっき実験装置
液フィルター循環機能の他、様々なオプション設定可能
寸法、その他、お客様のご希望の仕様によって対応可能

　スプレーエッチャー

酸アルカリによる枚葉エッチング装置
スプレー圧力：　0.3Mp　処理液流量：　30L/min
タンク容量：　20L　　温冷熱制御機構
エッチング、純粋洗浄を自動処理

5インチウエハに対し、エッチング処理、及び純水によるシャワー洗浄を自動的に処理
エッチング処理は2台のポンプにより、圧送される処理液を揺動スプレーノズルでコンベア上のウエハに噴霧する事によって行う
エッチング処理・水洗処理の時間設定は、コンベアの搬送速度とコンベア前後の繰り返し回数により、決定
これらの設定を操作パネルから安易に設定可能

　ドラフトチャンバー

本体材質は酸、アルカリ、有機処理に対応し、PVC（塩ビ）、PP（ポリプロピリン）、
SUS(ステンレス）にて製作可能
DIW自在蛇口、照明、ハンドシャワー、N2ガン、機器用コンセント、廃液回収ユニット等、
豊富なオプション搭載可能
クリーンドラフト、クリーンベンチ各種ドラフト寸法はお客様のご希望によって対応可能

半導体・ハードディスク製造装置

洗浄設備　　　附帯設備