自動洗浄装置

有機系剥離によりレジスト除去→リンス→純粋洗浄→スピン乾燥までの自動処理装置
循環、エッチング、剥離装置
材質：　SUS、PVC、PPにて製作可能
温度制御、自動薬液調合、ｐH調整機能
その他：　自動、手動制御、多段ろ過機器組み込み液循環　

スピンコーター

ローダー、アンローダー共にWカセット仕様
マスク、ウエハ対応可能、２液塗布可能
ベーク炉内に残ったワークの自動回収機構
直動サーバモーターによる高速スピン
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　

スピン現像装置

３ｔ基盤・６枚処理可能
循環スプレー式（ノズル揺動機構式)
処理スプレー現像→水洗→回転乾燥

ウエハスピン乾燥装置 (枚葉型のウエハ乾燥装置)

５インチ～８インチまでのウエハ、ガラス基盤などを高速に乾燥装置の表面、
背面はリンス機構付きミストが舞い上がらない独自のF&S乾燥気候（PAT)により、
高速かつ安全な乾燥回転数(０～２０００RPM)
初回リンス、1次乾燥工程、２次乾燥工程の３ステップレシピを５つ格納可能